GaNウェハ欠陥検査/レビュー装置「GALOIS（ガロワ）」

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

●透明基板の検査に最適なコンフォーカル光学系を採用し、
裏面反射等の影響を受けない安定した検査が可能
●微分干渉光学系により、シャロースクラッチや各種結晶欠陥を高い感度で検出
●光源/光学フィルタによる波長選択機能により、GaN on SiCなどヘテロエピ構造で膜干渉などの
影響を受けず、検査対象のウェハや膜に最適な条件での検査が可能
●最新の画像処理技術により、GaN表面モルフォロジーの影響を受けない検査が可能
●量産工程を想定した６インチ６分の高速検査を実現
●欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能、マーキング機能を装備し、欠陥の分析をサポート

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